1 简介

真(zhen)空泵(beng)(beng)是(shi)一(yi)种旋转式变容真(zhen)空泵(beng)(beng)须有(you)前(qian)级泵(beng)(beng)配合方可使用在较宽(kuan)的(de)压力范(fan)围内有(you)较大的(de)抽(chou)速对(dui)被抽(chou)除气(qi)体中含有(you)灰尘和水(shui)蒸汽(qi)不敏感广泛(fan)用于冶金、化工、食品、电(dian)子镀膜(mo)等行业。[1]

2 特点

(1)在较(jiao)宽的压力范围内有较(jiao)大的抽速；

(2)转子具有良好的(de)几(ji)何对称(cheng)性(xing)，故(gu)振(zhen)动小，运转平稳。转子间(jian)及转子和壳体(ti)间(jian)均有间(jian)隙，不用润滑，摩擦(ca)损(sun)失小，可(ke)大大降(jiang)低驱动功率，从而(er)可(ke)实现较高(gao)转速；

(3)泵腔内无需用油密封(feng)和(he)润滑，可减少油蒸气(qi)对真空系统(tong)的污染；

(4)泵腔内无(wu)压缩，无(wu)排气(qi)阀。结(jie)构简单、紧凑(cou)，对被抽气(qi)体(ti)中的(de)灰(hui)尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩(suo)比较低，对氢气(qi)抽(chou)气(qi)效果(guo)差；

(6)转子表面为(wei)形状较(jiao)为(wei)复杂的曲线柱面，加工和检查比较(jiao)困难。

3 结构

（1） 泵(beng)总体结(jie)构型(xing)式

真空泵(beng)的泵(beng)体的布(bu)置结构(gou)决定了泵(beng)的总体结构(gou)。

立式结构(gou)的进、排(pai)气口水(shui)平(ping)设置，装配和连接管路都(dou)比较方便。但泵的重(zhong)心较高，在(zai)高速(su)运转时稳(wen)定性差(cha)，故这种型式多用(yong)于(yu)小泵。

卧式泵(beng)的进(jin)(jin)气(qi)口(kou)在(zai)上，排气(qi)口(kou)在(zai)下。有时为了(le)真空系(xi)统管(guan)道(dao)安装连接(jie)方便(bian)，可将排气(qi)口(kou)从(cong)(cong)水平方向(xiang)接(jie)出(chu)，即进(jin)(jin)、排气(qi)方向(xiang)是相互垂直的。此时，排气(qi)口(kou)可以从(cong)(cong)左(zuo)或右两个方向(xiang)开(kai)口(kou)，除(chu)接(jie)排气(qi)管(guan)道(dao)一端(duan)外，另一端(duan)堵(du)死或接(jie)旁(pang)通阀(fa)。这种(zhong)泵(beng)结构重(zhong)心低(di)，高速运转时稳定(ding)性好(hao)。一般(ban)大、中(zhong)型(xing)泵(beng)多(duo)采用(yong)此种(zhong)结构。

泵(beng)的两(liang)个转子(zi)轴与水平面(mian)(mian)垂直安装。这种结构装配(pei)间隙容易(yi)控(kong)制(zhi)，转子(zi)装配(pei)方便，泵(beng)占地面(mian)(mian)积小。但(dan)泵(beng)重心较高且齿轮拆装不(bu)便，润滑机构也相对(dui)复杂。

（2） 泵的传(chuan)动方式

真空泵的(de)两(liang)个(ge)(ge)转(zhuan)子(zi)(zi)是(shi)通(tong)过一(yi)(yi)对(dui)高精度齿轮(lun)来实现其相对(dui)同(tong)步(bu)运(yun)转(zhuan)的(de)。主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)通(tong)过联(lian)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)器与(yu)电机(ji)联(lian)接(jie)。在传动(dong)结构布置上主(zhu)(zhu)(zhu)要有(you)以下两(liang)种：其一(yi)(yi)是(shi)电动(dong)机(ji)与(yu)齿轮(lun)放在转(zhuan)子(zi)(zi)的(de)同(tong)一(yi)(yi)侧如图。从动(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)由电动(dong)机(ji)端(duan)齿轮(lun)直接(jie)传过去(qu)带动(dong)，这(zhei)样主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)的(de)扭(niu)转(zhuan)变(bian)形小，则(ze)两(liang)个(ge)(ge)转(zhuan)子(zi)(zi)之间(jian)的(de)间(jian)隙不会因主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)的(de)扭(niu)转(zhuan)变(bian)形大而改变(bian)，故使转(zhuan)子(zi)(zi)之间(jian)的(de)间(jian)隙在运(yun)转(zhuan)过程(cheng)中均匀。这(zhei)种传动(dong)方式(shi)的(de)最(zui)大缺点是(shi)：a.主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)上有(you)三(san)个(ge)(ge)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)承，增加了泵的(de)加工(gong)和(he)装配难(nan)度，齿轮(lun)的(de)拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的(de)重心偏向(xiang)电动(dong)机(ji)和(he)齿轮(lun)箱一(yi)(yi)侧。

    极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)一(yi)(yi)个(ge)重要参数，是(shi)(shi)反应泵(beng)抽气(qi)能力的(de)特性值，是(shi)(shi)与真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)一(yi)(yi)个(ge)数值，不(bu)同(tong)(tong)的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)可以有不(bu)同(tong)(tong)的(de)“极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”度(du)。而(er)“理论真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)(shi)理论研(yan)究时(shi)(shi)的(de)一(yi)(yi)个(ge)概念，是(shi)(shi)排除各(ge)种(zhong)实际因素的(de)影响而(er)提炼出的(de)一(yi)(yi)种(zhong)最理想的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)经(jing)(jing)充分抽气(qi)后，稳定在某一(yi)(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)称(cheng)为(wei)极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)须(xu)经(jing)(jing)12小时(shi)(shi)炼气(qi)，再经(jing)(jing)12小时(shi)(shi)抽真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，最后一(yi)(yi)个(ge)小时(shi)(shi)每隔10分钟(zhong)测量(liang)一(yi)(yi)次，取其10次的(de)平(ping)均值为(wei)极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值。